在真空(kong)腔體里，通(tong)過(guo)射頻(pin)電(dian)源在一定的(de)壓力情況(kuang)下起(qi)輝產生高能量的(de)無(wu)序的(de)等(deng)離子(zi)體，通(tong)過(guo)等(deng)離子(zi)體轟擊被清洗產品表面。以(yi)達到清洗目的(de)。

　   等離子清洗機清洗原理：

　　1.激活鍵能，交聯作用

　　等(deng)離子體(ti)中的粒子能量在0~20eV，而聚合(he)物中大(da)部(bu)分的(de)鍵能在0~10eV，因此等離(li)(li)子體(ti)作用到固(gu)(gu)體(ti)表面(mian)后(hou)，可以(yi)將固(gu)(gu)體(ti)表面(mian)的(de)原有的(de)化學鍵產生斷(duan)裂，等離(li)(li)子體(ti)中的(de)自由基與這些鍵形成網狀的(de)交聯結構，大(da)大(da)地激活(huo)了表面(mian)活(huo)性。

　　2.對材料表面的刻蝕作用--物理作用

　　 等離子清(qing)洗機中的大量離(li)子(zi)(zi)、激(ji)發態分子(zi)(zi)、自(zi)由基等(deng)多(duo)種活性粒子(zi)(zi)，作用到(dao)固體(ti)樣(yang)品(pin)表(biao)面(mian)(mian)(mian)，不但清除了(le)(le)表(biao)面(mian)(mian)(mian)原(yuan)有的污(wu)染物和雜質，而且會產生刻蝕作用，將樣(yang)品(pin)表(biao)面(mian)(mian)(mian)變粗糙，形(xing)成(cheng)許多(duo)微細坑洼，增大了(le)(le)樣(yang)品(pin)的比(bi)表(biao)面(mian)(mian)(mian)。提高固體(ti)表(biao)面(mian)(mian)(mian)的潤濕性能。

　　3.形成新的官能團--化學作用

如果放電(dian)氣體中(zhong)引(yin)入反(fan)應性(xing)氣體，那么在活(huo)化(hua)的材料表面會(hui)發生復(fu)雜的化(hua)學反(fan)應，引(yin)入新的官(guan)(guan)能(neng)團，如烴基(ji)、氨基(ji)、羧(suo)基(ji)等，這些官(guan)(guan)能(neng)團都(dou)是(shi)活(huo)性(xing)基(ji)團，能(neng)明顯提高材料表面活(huo)性(xing)。

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